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    • 由于旋涂機應(yīng)用機(MIKASA)的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷,因此在潔凈室中的污染性非常出色,并且通過減少電機的發(fā)熱,在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
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