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產品詳情
  • 產品名稱:MIKASA真空鍍膜機MS-B100

  • 產品型號:MIKASA 真空鍍膜機MS-B100
  • 產品廠商:MIKASA旋轉涂布機
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簡單介紹:
由于旋涂機應用機(MIKASA)的產品由于使用交流伺服電機而無刷,因此在潔凈室中的污染性非常出色,并且通過減少電機的發(fā)熱,在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現性。
詳情介紹:

產品規(guī)格

*大電路板尺寸 φ4英寸晶圓或75×75mm基板
速度(轉/分) 20~8,000
旋轉精度 ±1轉/分(負載時)
發(fā)動機 交流伺服電機
丙烯酸
旋轉室直徑 φ220毫米
步進模式數 100 步× 10 種模式
時間設置 999.9秒
**聯鎖 真空標準
蓋可選
滴水裝置 不可連接
使用的真空壓力 -0.08~-0.1兆帕
權力 交流100~240V 5A
外部尺寸(毫米) 259W×246H×330D
重量 10公斤

* 規(guī)格如有更改,恕不另行通知。

支持的選項

<定制類型> <兼容型號>
?自動滴水裝置(氣動型) 1 臂  
2 臂  
?自動滴水裝置(支架式)    
?漱邊    
?背部沖洗    
?排氣管  
?廢液排放  
?鄰苯二甲酰亞胺開關  
?特氟龍涂層  
?增加電機余熱風扇  
?急停開關  
?大功率電機    


薄膜厚度分布數據






使用的型號 MS-B100
薄膜厚度測量裝置 菲爾計量 F50
抵抗 OFPR-800LB (東京大鹿)
電路板尺寸 φ4英寸硅片
目標膜厚度 1微米
薄膜厚度分布 ±0.8%
選型支持 技術服務 售后安裝調試維修

蘇州代理MIKASA 真空鍍膜機MS-B100

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